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产品简介
CBr4是很好的III-V材料的p型掺杂源。在使用MBE技术生长p型掺杂外延材料中具有很多用途。
SVT公司CBr4模块适用于任何MBE，具有安全、操作简单等特点。CBr4通过一个压力控制系统被输送到腔室。此压力控制系统可以控制蒸汽压流量。气体控制面板可以精确控制CBr4气体的流量。
特点
●适用于任何MBE
●高性能的气体入射源
●先进的气体操作系统
●安全，操作简单
部件
气体入射源
●带有加热器的入射源（长度可客户定制）
●温度控制器（可放在电子控制柜中）
●双接头气体管路
气体操作系统
●外部手动可调阀门
●热漏阀和控制器
●冷阴极真空规以及控制器
可选
●气动阀门
●气动阀门控制器
●气路烘烤装置
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