美国SVT大容量阀控源_报价-美国SVTA公司中国办事处

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产品简介

SVT 阀控沉积源可精确控制高蒸汽压材料的束流。其独特地阀门设计，使该源具有很好的工艺重复性以及束流反应即时性。驱动阀门可选，可实现自动工艺控制。

阀控沉积源与束流分流口相连，可以在很大面积的衬底上沉积。分流口光阑可以调节束流形状，是太阳能电池以及OLED沉积工艺的**选择。分流口可与衬底非常接近，因此提高了沉积速率。

增加热激发区域可选，此区域可以提高多原子大分子的活性。热激发的分子降低了材料消耗，提高了材料质量以及S和Se的结合力。

针阀设计可以精确控制高蒸汽压材料的束流

热激发部件可选，可提高材料结合力

可客户定制分流口

源容量大，适于长期生长

是太阳能电池和OLED应用领域的**选择

馈入法兰	4.5’’(DN63)CF 法兰(其它尺寸可选)
**体蒸发温度	450^oC，500^oC除气
分流口**温度	700^oC，900^oC除气
源温度稳定性	+/- 0.1^oC
热偶类型	K型
电接插件	大气下的灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型
烘烤温度	200^oC
束流稳定性	<1%，带有集成束流传感器
**操作环境压强	1X10^-4Torr
沉积均一性	+/-6%(源与衬底距离300mm) +/-4%(源与衬底距离200mm)
加热时间	400^oC< 60min
冷却时间	100^oC <120分钟