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产品简介
SVT线性蒸发源适用于太阳能电池和OLED生产的in-line和roll to roll制程工艺。
线源和体蒸发源相比，蒸发温度更高（>1，500oC）。
线性分布的分流口可使整个衬底长度均匀被覆盖。
**的分流口设计避免了材料飞溅和缺陷生长。
此源还可以通过调节光阑来调出**束流。
特点
分流口式生长提高大面积移动衬底的薄膜均一性
独立的加热区域，便于精确控制
差分喷口可更换，便于调整束流形状
源容量大，适于长期生长
加热温度高，因此沉积速率高
型 号 | 沉积宽度 | 容量 | 法兰尺寸 |
SVTA-LES-300 | 300mm | 500cc | 6’’(DN100)CF法兰，其他尺寸可选 |
SVTA-LES-600 | 600mm | 1，000cc， 2，000cc， 或5，000cc | 10’’(DN200)CF法兰，其他尺寸可选 |
SVTA-LES-1200 | 1，200mm | 2，000cc， 或5，000cc | 10’’(DN200)CF法兰，其他尺寸可选 |
**体蒸发温度 | 1，500oC |
分流口**温度 | 1，600oC |
源温度稳定性 | +/- 0.1 oC |
束流稳定性 | <1% |
**操作环境压强 | 5X10-5Torr |
沉积均一性 | +/-4%(源与衬底距离300mm) |
热偶类型 | C型 (K型可选) |
冷却时间 | 100oC<120分钟 |
电接插件 | 灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
烘烤温度 | 200oC |
冷却水接头 | 2 X 1/4’’ VCR (一进一出) |
**水压 | 80psi |
水流速率 | 500ml/min |
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