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SVT 热蒸发源种类繁多，覆盖了绝大多数材料。包括CsI，S，Se等各种材料
SVT生产MBE设备已有超过20年的经验，其蒸发源具有很高的稳定性和可控性。
源可以制造成各种形状、尺寸并具有**温度范围。
SVT可以为您提供*合适的源，用于太阳能电池领域或OLED领域。
每一个热源都是超纯材料制造的，避免污染真空生长室。
源在运到客户之前都经过全面的检测和标征。
SVT热源具有太阳能电池工艺及OLED工艺所需要的大容量、可控、稳定等特点。
特点
稳定性高
容量大
温度范围广，适于生长各种材料
用高纯材料制作，消除污染的可能性
各种坩埚形状，适于客户所需的各种**束流形状
型 号 | * 佳 温 度 范 围 | 尺 寸 |
SVTA-DF-双灯丝热源 | 600 oC-1，600 oC | 85cc，150cc，500cc， 1，000cc |
SVTA-LTDF-低温双灯丝热源 | 400 oC-1，000 oC | 85cc，150cc，500cc， 1，000cc |
SVTA-VViking热源（Ga、In） | 800 oC-1，400 oC | 60cc，80cc，150cc，500cc |
SVTA-EXCEL-Excel热源（有机材料） | 100 oC-600 oC | 85cc，150cc，500cc， 1，000cc |
源温度稳定性 | +/- 0.1 oC |
温度重复性 | +/- 0.1 oC |
接口法兰 | 60cc，80cc，85cc：4.5’’(DN63) CF 法兰 150cc，500cc：6.0’’(DN100) CF 法兰 1，000cc：8.0’’(DN150) CF 法兰 |
真空室内长度 | 12’’(10’’-14’’可客户定制) |
真空室内直径 | 60cc: 2.135’’ (54mm) 80cc: 2.100’’ (53mm)85cc: 2.290’’ (58mm) 150cc: 2.630’’ (67mm) 500cc: 3.540’’ (90mm) 1，000cc: 5.500’’ (140mm) |
热偶类型 | <1，000 oC**：K型 >1，000 oC**：C型 |
电接插件 | 灯丝：Amphenol环形灯丝 T/C:Omega亚微型 |
烘烤温度 | 200oC |
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